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东谈主民网北京1月14日电 （记者孙博洋）记者从市集监管总局了解到，近日，市集监管总局批准新建二维线纹基准装配，填补我国校准影像测量仪、光学显微镜等光学精密测量诞生和高精度光刻机母版制造诞生的二维线纹步骤器的测量技艺空缺，中枢时刻兑现皆备自主可控。

据市集监管总局策动厚爱东谈主先容，二维线纹基准装配测量界限为320mm×320mm，最优测量省略情度仅28nm，终点于头发丝直径的2500分之一。该基准装配主要特色是大界限、微尺寸、多参量，可为二维尺寸、位置及局势提供量值溯源，达到外洋先进水平。该基准装配有助于处分亚微米、纳米级光刻机母版的二维线纹“测不准”的烦躁，为电子通讯、轨谈交通、航空航天、医疗诞生等高端制造范畴精密加工和测量诞生提供时刻复古和保险。